Holo Eye

Das digitale, holografische Meßsystem ist in der Lage fertigungsbegleitend, im Produktionstakt von 1s, die Funktionsoberfläche von Mikrobauteilen flächenhaft und hochpräzise auf Diskontinuitäten mit <5µm zu vermessen.

Das System basiert auf einem digital-holografischen Mikroskop, welches mit einem Arbeitsabstand von 34mm zur Objektoberfläche arbeitet.

Aufgrund des großen Arbeitsabstandes kann eine Vielzahl verschiedener Bauteilgeometrien erfasst werden, so dass das System mit geringen Modifikationen für sehr unter-
schiedliche Inspektionsaufgaben auf Flächen von ca. 4mm2 eingesetzt werden kann. 

Das Holo Eye ist vollständig staubdicht gekapselt und robust ausgelegt für eine Arbeitsumgebung im laufenden Fertigungsprozess.

Um Schwingungseinflüsse des Fertigungsprozesses zu eliminieren, wurde die Belichtungszeit der Laserbeleuchtung zur Erzeugung der Interferogramme auf 1mS reduziert. 

Für Untersuchungsobjekte, die innerhalb der Zuführung zum Messfeld Höhendifferenzen aufweisen, fokussiert das System sich während der Auswertung automatisch digital nach. 

In der Anwendung können, trotz Schwingungsbelastung aus dem Fertigungsprozess, Bauteilfehler mit 5µm lateral und einer Tiefe von mindestens 2µm auf den Funktions-
oberflächen sicher erkannt werden.

Das Holo Eye kann für schnellere Produktionsanwendungen dupliziert eingesetzt werden und wird dabei aus nur einem Laser mit nachgeschaltetem optischem Umschalter gespeist.

Die Rechnerleistung ist bzgl. der Verarbeitung der Auswertealgorithmen für den Parallelbetrieb von 2 Systemen ausgelegt.

Datenblatt